怕吃罚单！SK海力士无锡厂斥资引进DUV设备

美国对大陆内存厂商福建晋华发布禁售令，重创中国的半导体美梦，中国当局或许打算另辟蹊径，强化半导体产业。近来韩国内存大厂SK海力士(SK Hynix)，在中国无锡厂引进了DUV(deep ultraviolet、深紫外光)光刻设备。韩媒揣测，中国对韩国内存业者启动反垄断调查，韩厂或许被迫引进高科技设备讨好当局，以免惨遭修理。

韩媒BusinessKorea 2日报导，上个月SK海力士在中国无锡厂举行DUV设备的导入典礼，将用来生产DRAM。新设备是荷兰半导体光刻设备商艾司摩尔(ASML)的“NXT2000i”，一台要价数千万到数亿美元之间，这是ASML NXT2000i首次引进中国。ASML不向中国贩售最新设备。

DUV没有EUV(极紫外光)先进，但是ASML说，装设在无锡厂的NXT2000i是最新机型，能把曝光过程的错误减到最低，并且能和最先进的EUV设备NXE3400B共同使用、创造综效。外界猜测，SK海力士未来也许有意在无锡厂导入EUV设备。不过SK海力士高层表示，目前EUV设备主要用于生产系统半导体，在无锡厂采用EUV生产内存还言之过早。

有些分析师指出，SK海力士在大陆引入高科技设备，与中国当局的反垄断调查有关。去年底，北京对三星电子、SK海力士、美光进行反垄断调查并表示出现实质进展，最多可能处以80亿美元的罚款。不只SK海力士害怕遭天价罚金，三星也紧张。分析师说，三星电子关闭了天津的智能手机工厂，但是为了和中国政府维持良好关系，三星集团的Samsung SDI和三星电机(Samsung Electro-Mechanics)都加强对中国投资。